拋光液核心技術及原理

　 　本工藝的核心就是采用了化學機械拋光的方法。在精磨白寶石(Al2O3)晶體基片的基礎上，進行化學機械拋光來取代引進工藝的後部物理拋光方式。拋光工 藝采用粗拋光和精拋光的結合方式，以去除精磨時研磨料對白寶石(Al2O3)晶體基片表麵的機械損傷層，進一步提高白寶石晶體基片表麵的平整度和光潔度， 加工出符合工藝線上要求的合格襯底晶片來。

　　拋光液是根據白寶石(Al2O3)的化學物理性質以及有關的化學反應原理為依據，精選數種試劑，經再配製及有關化學反應而研製成功的。分為兩種劑型，用於粗拋光工藝和精拋光工藝。該拋光液也可做成濃縮母液，便於使用和運輸。使用時，將濃縮母液用高純水稀釋後使用，無毒、無味。進口拋光劑

　　在白寶石(Al2O3)晶體基片的加工工藝中，拋光原理應符合下列設想：首先，該拋光液中的某種成份將Al2O3氧化，使AL2O3表麵形成離子形式，在堿性條件下，即有偏鋁酸根離子生成：

　　Al+ + + + 3OH- → H2O + HAlO2 → H + AlO2-

　　在機械條件作用下，這些離子進入拋光液中，從而使Al2O3晶體基片露出新的表麵來，使得拋光液中的某種成份和Al2O3晶體基片表麵能夠繼續進行化學反應。進入拋光液中的偏鋁酸根離子與拋光液中的某種金屬離子進行化學反應，生成結晶沉澱，這些結晶沉澱反過來又參與拋光。以上過程反複進行，使白寶石(Al2O3)晶體基片表麵的平整度和光潔度達到工藝要求。

　　拋光液工藝效果

　　利用該工藝進行白寶石(Al2O3)晶體基片加工，Al2O3晶體基片表麵光亮、疏水性好，無劃痕，無凹坑、無雲霧狀、無弧坑、波紋和桔皮。在400倍顯微鏡下觀察，晶片襯底良好，達到了工藝要求。